방사광가속기 극자외선을 이용한 나노 패턴 조작에 관한 기사입니다.포스텍 연구진이 개발한 신기술로 높이와 폭까지 나노미터 스케일에서 조절이 가능하다고 합니다.이전까지의 미세공정에서 사용되던 화학적 방식보다 훨씬 안정적이고 미세한 공정이라고 하네요.http://news.mk.co.kr/newsRead.php?year=2010&no=524648