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  • 작성자 사진Admin

저비용 나노패턴 대면적 제작기술 개발

나노기술의 발전에 대한 기사입니다^^ 저번시간에 Lithography 에 대해 배웠는데 그것과 관련된것 같아 게시판에 올립니다.


Optical Lithography 와 Molecular Self-assembly 의 공정을 융합해 나노 기술의 오랜 난제로 여겨지던 저비용 대면적 나노패턴 기술 개발에 성공했다고 합니다.


KAIST 교수팀은 이번에 개발된 융합기술을 통해 저비용 패턴공정인 디스플레이용 광리소그라피로 대면적에서 마이크로미터 크기의 패턴을 만든 후, 분자조립현상을 이용해 수십나노미터 크기의 패턴으로 밀도를 백 배 이상 증폭시킴으로써 대면적에서 잘 정렬된 나노패턴을 형성시키는데 성공했습니다.


이번 성과는 기준 기술에 비해 단순하고, 비용이 저렴하여 차세대 반도체나 디스플레이 분야에 폭넓게 이용될 수 있을 것으로 기대된다고 합니다.


자세한 기사는 아래에 첨부합니다.^^

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